Přístroje

Zařízení pro iontovou implantaci

Implantátor Tecvac (energie iontů do 90 keV), chlazený / vyhřívaný manipulátor do 500 °C.

Zařízení pro metodu PACVD

Chlazený / vyhřívaný stolek, stejnosměrný, střídavý a pulzní generátor plazma.

Univerzální depoziční zařízení IBAD

Duální napařování elektronovým svazkem. Možnost asistence svazku argonových, dusíkových a kyslíkových iontů s maximální energií 1 keV. Chlazený nebo vyhřívaný manipulátor do 600 °C.

Tribologické parametry povlaků

Vysokoteplotní tribometr THT firmy CSM Instruments

• měření v rozsahu  od pokojové teploty do 800°C,
• měření závislosti součinitele tření v závislosti na teplotě pro různé počty cyklů (délce dráhy).

Metalografická leštička pro přípravu substrátů

Přístroj pro metodu KALOTEST